连续式玻璃真空磁控溅射生产线

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Low-E玻璃磁控溅射镀膜生产线

Low-E Glass Magnetron Sputtering Coating Line

生产线特点 Features of production line:

1. 设备类型：卧式连续磁控溅射镀膜生产线

2. 生产周期：60s

3. 产能：年产量大于200万平方米

4. 玻璃规格：9000mm×2540mm

5. 膜层均匀性：在有效沉积区域内，膜层厚度均匀性≤5%

6. 阴极结构设计：采用中频孪生旋转阴极，靶规格视产品而定

7. 设备传动方式：采用双摩擦传动的卧式小车装载进片方式（不采用滚轮设计）

8. 镀膜温度控制：采用不锈钢铠装加热装置（可以按客户要求采用灯管加热），温度为350℃，按照常温～350℃可以任意设定设计，控制稳定度为±5℃

9. 控制系统：采用组态软件与PLC结合模式，实现人机对话，对生产过程能进行必要的及时干预。运行过程中有报警提示和故障显示。'