青岛优百宇真空设备股份有限公司
主营产品:
2023年12月02日 12:34
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Low-E玻璃磁控溅射镀膜生产线
Low-E Glass Magnetron Sputtering Coating Line
生产线特点 Features of production line:
1. 设备类型:卧式连续磁控溅射镀膜生产线
2. 生产周期:60s
3. 产能:年产量大于200万平方米
4. 玻璃规格:9000mm×2540mm
5. 膜层均匀性:在有效沉积区域内,膜层厚度均匀性≤5%
6. 阴极结构设计:采用中频孪生旋转阴极,靶规格视产品而定
7. 设备传动方式:采用双摩擦传动的卧式小车装载进片方式(不采用滚轮设计)
8. 镀膜温度控制:采用不锈钢铠装加热装置(可以按客户要求采用灯管加热),温度为350℃,按照常温~350℃可以任意设定设计,控制稳定度为±5℃
9. 控制系统:采用组态软件与PLC结合模式,实现人机对话,对生产过程能进行必要的及时干预。运行过程中有报警提示和故障显示。'
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