半连续卧式端电极溅镀机

半連續臥式端電極濺鍍機

設備應用：In Line Sputter量產型設備，備多種生產規格與客製化開發適用各種不同元件製程

•應用於被動元件產業/陶瓷散熱基板/鍍膜。

•應用於各類金屬與非金屬鍍膜。

•應用於用於抗電磁波(EMI)、產品裝飾膜(NCVM)、觸控螢幕(T.P)、彩色濾光片(C.F)、顯示器(TFT;OLED)、薄膜太陽能電池(Solar cell)。

•多腔連續式，包含垂直/水平兩種設計方式。

•連續式生產，搭配自動回流線設計，產量大。

•可設計純金屬濺鍍、反應式濺鍍、混合式濺鍍、表面清潔等多種製程搭配。

•人性化操作介面，高靶材利用率，高設備稼動率。

•可依客戶需求產量訂製機台產出與稼動。