中山凯旋真空技术工程有限公司
主营产品:
2023年07月24日 13:54
镀种 |
真空镀膜 |
品牌/型号 |
中山凯旋/SP16/12型 |
SP16/12型(16靶位)磁控溅射离子镀膜机
真空技术指标:(冷态、空载、清洁)
1.极限压强:优于3×10-4Pa;
2.抽速:大气到3×10-3Pa抽气时间小于15分钟
3.压升率:≦0.3Pa/hr。
圆筒内尺寸Φ1650㎜×1200mm,耳室舱内间距1950㎜, 4个溅射阴极耳室舱,16个吊装阴极靶座 三开门结构,特别方便阴极靶的安装与检修。真空室内筒板δ=12㎜,外板δ=3㎜采用蜂巢强固型结构,强度高,水冷冷却均匀。上下盖板δ=30㎜并配井字加强筋板(筋板δ=12×40㎜)及蜂巢强固型水道板。
真空系统:
1、精抽:中科仪F400/3500分子泵3台,分子泵前级:德国leybold vacuum产品:D60C+MAU501罗茨泵一套。粗抽系统:2台2X-70旋片机械泵+1台ZJ-600罗茨泵,配齐阀门,弯头和管道,合理位置设置高、低真空测量规管。
三菱Q系PLC、研华一体工控机、17in触摸显示屏,三菱电器件。开式数据链,自动←→手动操控系统。当工艺确定后,可实现一键式自动镀膜流程控制。装配急停开关,有重大异常情况,通过触动开关停下设备。开关加装保护罩,避免误操作 ,美国AE 4路数字质量流量计,前置有电磁保护阀,混气罐。每路充气管双层微孔结构,保证混气均匀。
主轴变频电机驱动,减速机出端转速1~3转/分。配10根自转轴。
27KW加热管加热器,保证0~2700C升温。
PID智能控温
30KW脉冲偏压电源(实力源),线形离子源(含3套电源),4个浮动电位阳极。套过滤电弧源(含高压脉冲引弧电源、磁场电源与弧电源),5对10个溅射靶(含电源)
静电喷塑,喷塑前整体回火处理(低于敏化温度)消除应力。
按出口设备要求制造,精选配套件。
图片展示:
氮化钛膜TiN(上)
碳氮化钛+氮化钛TiCN+TiN
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