磁控溅射离子镀膜机 非标 定制

SP16/12型（16靶位）磁控溅射离子镀膜机

真空技术指标：（冷态、空载、清洁）

1.极限压强：优于3×10-4Pa；

2.抽速：大气到3×10-3Pa抽气时间小于15分钟

3.压升率：≦0.3Pa/hr。

圆筒内尺寸Φ1650㎜×1200mm,耳室舱内间距1950㎜, 4个溅射阴极耳室舱，16个吊装阴极靶座 三开门结构，特别方便阴极靶的安装与检修。真空室内筒板δ=12㎜，外板δ=3㎜采用蜂巢强固型结构，强度高，水冷冷却均匀。上下盖板δ=30㎜并配井字加强筋板（筋板δ=12×40㎜）及蜂巢强固型水道板。

真空系统：

1、精抽：中科仪F400/3500分子泵3台，分子泵前级：德国leybold vacuum产品：D60C+MAU501罗茨泵一套。粗抽系统：2台2X-70旋片机械泵+1台ZJ-600罗茨泵，配齐阀门，弯头和管道，合理位置设置高、低真空测量规管。

三菱Q系PLC、研华一体工控机、17in触摸显示屏，三菱电器件。开式数据链，自动←→手动操控系统。当工艺确定后，可实现一键式自动镀膜流程控制。装配急停开关，有重大异常情况，通过触动开关停下设备。开关加装保护罩，避免误操作 ，美国AE 4路数字质量流量计，前置有电磁保护阀，混气罐。每路充气管双层微孔结构，保证混气均匀。

主轴变频电机驱动，减速机出端转速1~3转/分。配10根自转轴。

27KW加热管加热器，保证0~2700C升温。

PID智能控温

30KW脉冲偏压电源（实力源），线形离子源（含３套电源），４个浮动电位阳极。套过滤电弧源（含高压脉冲引弧电源、磁场电源与弧电源），5对10个溅射靶（含电源）

静电喷塑,喷塑前整体回火处理（低于敏化温度）消除应力。

按出口设备要求制造，精选配套件。

图片展示：

氮化钛膜TiN（上）

碳氮化钛+氮化钛TiCN+TiN