日本KOFLOC金属密封型质量流量控制器/质量流量计型号5400系列

产品介绍

型号5400系列质量流量控制器/计无焊接结构，金属密封，精确度≤±1%，反应时间≤±1/秒，基本性能适用于半导体过程控制，实现了划时代的

低成本。型号5410系列同样主体的设计价格也十分合理。

特点

□ 通过安装温度流量传感器得到高精确的快速回应

□ 常闭电磁阀

□ 无焊接构造，金属密封确保低的泄露

□ 采用膈膜阀减少了死区

□ 间距，主体尺寸和连接的设计可以和其它生产商的控制器兼容

技术指标 流量F.S. (N2换算) 10SCCM-20SLM 阀门方式* 常闭电磁隔膜阀 控制范围* 2-100%F.S. 应答性* 0-100%F.S.1秒以下（设置点±2%、典型以下） QS附件适用时0-100%∽0-20%反应1秒以下 精度 ±1.0%F.S.以内@20°C 线性 ±0.5%F.S.以内@20°C 重复性 ±0.2%F.S.以内@20°C

工作差压* F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa

LP(低差压)标准根据气体、流量而不同 5