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太阳能集热管磁控溅射镀膜机

– 产品说明及原理：

太阳能真空集热管全自动镀膜机我公司共有以下几种型号：

SCS-700A自动集热管镀膜机——K-500机组，选用不同的旋转工件架，可镀制Ф37、Ф47、Ф58真空管，日产1600支。

850/3三靶集热管自动镀膜机——配K-650油扩散泵、2X-70真空泵2台、2X-15维持泵1台，双电源；三靶：不锈钢靶、 铜靶、铝靶。配有(选购)一台装卸靶的机械手小车。选用不同的旋转工件架，每批次可镀制内管Ф37/40支，日产1900支左右，内管Ф47/48支，日 产量1200支左右，内管Ф58/29支，日产量1400支左右。

850型单靶集热管自动镀膜机——配K-650油扩散泵、2X-70真空泵2台、2X-15维持泵1台，Ф95新型磁场旋转外圆柱靶，选用不同的旋转工件架，每批次可镀制内管37/40支，日产1900支左右，内管47/34支，日产量1600支左 右，内管58/29支，日产量1400支左右。

三靶热管金属片镀膜机——K-650真空机组；三电源；三靶：不锈钢靶、铜靶、铝靶。可镀制各种规格热管金属片。

– 主要技术参数：项 目型 号参 数主机外型尺寸（mm）700型1900×1000×（2650～3100）850型2300×1100×（2750～3200）真空系统700型主泵：K－500油扩散泵，不锈钢泵芯

前级泵：2X－70旋片式机械泵；阀门：电磁气动型850型主泵：K－650油扩散泵，不锈钢泵芯

前级泵：2X－70旋片式机械泵2台

维持泵：2X－15旋片泵；阀门：电磁气动型镀膜室结构尺寸（mm）700型内腔尺寸：Φ700×（2150～2600）850型内腔尺寸：Φ850×（2200～2700）抽气时间从大气到6.7×10－3Pa≤15min旋转工件架700型可镀工件尺寸：（任选一种）Φ37×32支、Φ47×26支、Φ58×22支850型可镀工件尺寸：（任选一种）Φ37×60支、Φ47×48支、Φ58×36支靶700型条形磁铁磁控旋转靶850型有单靶和三靶可供选择，三靶为不锈钢靶、铜靶和铝靶真空测量控制宽量程双热偶复合真空计溅射气氛控制双路、三路流量微机自动/手动控制，使所有气体量化控制，质量更稳定冷却水压力：2×105Pa；温度≤25℃；流量：2T/hr；设有断水声、光报警压缩空气压力：（4～7）×105Pa，过滤，除水，除油雾

还可以定制1030型 1050型