四川光刻机企业排名四川光刻机批发鑫南光产品齐全

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品牌	鑫南光	售后服务	24小时服务
发货产地	成都	是否跨境货源	否
加工定制	是	可售卖地	全国
用途	它主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、声表面波器件的研制和生产。	类型	光刻机
工作电压	240V	别名	曝光机
曝光面积	Φ6"，4"，3"	曝光最小分辨率为	3μm
光强	≤10mw/cm2	片对版的预定位精度	≤±0.1mm

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主要构成

主要由对准工作台、双目分离视场CCD显微显示系统、LED曝光头、PLC电控系统、气动系统、真空管路系统、直联式真空泵、二级防震工作台和附件箱等组成。主要技术指标：1、曝光类型：单面；配置4"LED用曝光头2、曝光面积：110×110mm；3、曝光照度不均匀性：≤±3%；4、曝光强度：0～30mw/cm2可调；5、紫外光束角：≤3?0?8；6、紫外光中心波长：365nm；7、紫外光源时间：≥2万小时；8、采用电子快门；9、曝光分辨率：1μm 10、显微镜扫描范围：X： ±15mm Y：±15mm； 11、对准范围：X、Y 调节 ±4mm；Q向调节±3°； 12、套刻精度：1μm； 13、分离量；0～50μm可调； 14、曝光方式：接触式曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光； 15、找平方式：气浮找平； 16、掩模版尺寸：≤127×127mm； 17、基片尺寸：≤Φ102mm(或者102×102mm)； 18、基片厚度：≤5 mm； 19、曝光定时：0～999.9秒可调；

联系人：刘先生/康先生/左先生

移动刘总）

康经理）

左经理）电话：传真：邮编：610200地址：中国四川双流县蛟龙工业港双流园区渤海路3座

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