北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司
主营产品:
2023年09月25日 08:20
品牌 |
LightBlue_Nano |
型号 |
LBN-CK |
应用领域 |
能源电池 |
极限真空度 |
5*10-5 |
镀膜室尺寸 |
450*500 |
工作真空度 |
5*10-5 |
升压率 |
5*10-9 |
抽气时间 |
60 |
此款小型磁控溅射镀膜机具备以下几个优点:1、目前高校包括研究所的实验室面积都比较紧张,所以此款小型磁控溅射镀膜机紧凑
的设计更为合适;2、配置3个3英寸可调节高度及角度的电控挡板磁控溅射靶(可选择高磁靶可镀铁、镍
等磁性靶);3、配置1个4英寸可旋转、可加热、可加装偏压电源的样品台;4、配置离子活化装置;5、配置内隔板便于清理和带挡板的观察窗;6、配置腔室烘烤加热装置;7、配置高真空获得及测量装置;8、配置膜厚实时监控测量装置。
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