镀膜设备基片加热器

■ 复合陶瓷加热器使用CVD法制造的纯度达到99.99%的高纯产品。PBN对腐蚀性气体具有惰性，因为是高纯度，所以在高温下释放出的气体很少，能很好的应对热冲击，在特定情况下可以在1500℃以上的环境中使用。PG是进行面加热因而加热快，PBN的热传导性很好，所以加热面有很好的均热特性；复合陶瓷加热器具备低电压、小电流、加热速度块等优点，被广泛的应用于半导体基体加热（应用于MBE、MOCVD、溅射镀膜、CVD等）；超导体基体加热；样品分析过程中的样品加热；电子显微镜样品加热；金属加热；金属蒸发热源。■ 市面上的磁控溅射镀膜机加热器普遍采用电阻丝（铠装电阻丝）的加热方式，加

热温度一般用到 600℃，具备成本低廉，安装方便，不受气氛影响等优点。但在

使用过程中具有一定的挥发性，影响镀膜质量。■ 市面上的磁控溅射镀膜机加热器还可以采用康泰尔电炉丝作为加热器，氧化锆陶

瓷作为绝缘支撑组件，氮化硼作为保护匀热罩的加热方式，加热温度一般用到

1000℃-1200℃，具备成本低廉，安装方便，不受气氛影响等优点。但在使用 过程中具有一定的挥发性，需要预热处理。