ET9000电输运测试系统集霍尔效应、磁阻、I-V特性测试于一体

ET9000系列电输运性质测试系统是集霍尔效应、磁阻、I-V特性等测试于一体的全自动化测试系统。系统全面地考虑了仪表配置、电路接线（包括室温和低温的接线）等用户经常忽略的问题，选取了美国Keithley的电测量仪表，磁场根据用户需要采用电磁铁或无液氦超导磁体， 配备灵巧的测量样品杆，加上全自动化的专用测试软件，能让用户快速方便地进行样品测试，并获得准确可靠的数据。

此外、系统还有多种低温选件，并可以根据用户现有的仪表和对软件的特殊要求进行特殊改造， 是广大科研工作者对样品进行电输运性质研究的有力工具。

基本配置组成：

一、 测量仪表部分

Ø 标准系统： 美国Keithley公司的2400电流表、2700万用表、7709矩阵卡以及接口适配器和GPIB电缆等。

Ø 高阻系统：美国Keithley公司的6220电流表、 2182A 纳伏表、6485皮安计、 6514静电计、7001开关盒、7152矩阵卡以及相应的连接电缆、接口适配器和GPIB电缆等。

二、 磁场组成部分

Ø 电磁铁系统：

Mini电磁铁+ HP1型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计

EM5电磁铁+7050型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计及水冷系统

EM7电磁铁+9060型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计及水冷系统

EM10电磁铁+65135型高稳定性双极电磁铁电源，高斯计及水冷系统

Ø 超导磁体系统：英国Cryogenic公司5T～18T无液氦超导磁体系统， 水冷系统

三、 系统辅助部分

Ø 测试总成：包括样品杆及支架总成、 样品盒模块、样品卡和连接测试电缆等；

Ø 仪表安装柜、高性能电脑和液晶显示器；

Ø 东方晨景电输运性质测量专用软件；

Ø 安装和操作使用手册等。

主要特点:

Ø 标准系统使用插入式样品夹具，样品安装方便；

Ø 基本配置一次最多可以加装四个样品， 并同时可以对两个样品进行测试；

Ø 标准系统随机配送一个探针样品卡；

Ø 标准系统可以进行不同磁场下的霍尔效应、I-V特性的测量；

Ø 电阻测量范围宽：0.1mΩ—50GΩ（高阻系统），测量的不确定度为2%；

Ø 测试过程和计算过程由软件自动执行，节省了大量的时间；

Ø 软件可以显示测量结果和测量曲线；

Ø 系统磁场采用闭环控制，可以提供高稳定性的磁场， 同时解决了磁铁剩磁问题，实现真正的零磁场；

Ø 选择变温选件，可以进行不同温度下的霍尔效应测量和I-V特性测量。

可测试材料:

² 半导体材料：

Si、Ge、GaAs、GaN、AlGaAs、CdTe、HgCdTe、CdTe、ZnO、SiC、GeSi、InP、MCT等，以及弱磁半导体和稀磁半导体的薄膜及块材；

² 铁氧体材料；

² 低阻抗材料：金属、透明氧化物、弱磁性半导体材料、TMR材料等。

基本功能:

u 可以进行霍尔效应、I-V特性（电阻率）及磁电阻（MR）的测量；

u 可得出参数：霍尔效应——方块电阻、电阻率、霍尔系数、导电类型、霍尔迁移率、载流子浓度；

u I-V特性的MR的特性曲线包括：

Ø 不同磁场下的I-V特性曲线

Ø 不同温度下的I-V特性曲线

Ø 不同磁场下的变温I-V特性曲线

Ø 不同温度下的变磁场I-V特性曲线

Ø 电阻随温度、磁场变化的特性曲线

Ø P-B曲线

主要技术指标:

u 样品尺寸：

1）小尺寸双面样品卡，面积为12× 12mm2（随机配送10个）；

2）大尺寸单面样品卡，面积为50× 50mm2（随机配送10个）；

3）探针样品卡，可测样品尺寸范围：1× 1mm2, ,～30× 30mm2（随机配送1个）。

u 样品的接线方式：

1）霍尔效应测量：

Van der Pauw； Hall bar 1-2-2-1； Hall bar 1-3-1-1； Hall bar 1-3-3-1； 2）I-V特性和磁电阻测量： 直列四点法

u 样品接线方式：4线法或6线法

u 温度环境（标准系统不带变温选件，只能进行室温下的测量）：

无液氦超导磁体系统（系统自带低温选件， 不用单独选择）：1.6K～325K

液氮恒温器选件：

标准液氮恒温器： 80K～325K

高温型液氮恒温器： 80K～500K

循环制冷机选件（不消耗液氦/液氮等制冷剂）：

标准4K制冷机系统： 4K~325K

高温4K制冷机系统： 4K~500K

高温4K制冷机系统： 4K~700K

标准10K制冷机系统： 10K~325K

高温10K制冷机系统： 10K~500K

高温10K制冷机系统： 10K~700K

微型制冷机系统：45K~325K

u 磁场环境：

1）Mini型电磁铁：6000G@23毫米

2）EM5型电磁铁（ET-9005或ET9105型）极柱直径127mm（5英寸）极头直径60mm磁场间隙室温小制冷机CCS制冷机液氮恒温器22mm24mm40mm24mm磁感应强度1.8T(18kGs)1.7T(17kGs)1.1T(11kGs)1.7T(17kGs)均匀度±1%3）EM7型电磁铁（ET-9007或ET9107型）极柱直径178mm（7英寸）极头直径76mm磁场间隙室温小制冷机制冷机液氮恒温, 器22mm24mm40mm24mm磁感应强度2.1T(21kGs)2.0T(20kGs)1.5T(15kGs)2.0T(20kGs) 均匀度±1%4）EM10型电磁铁（ET-9010或ET9110型） 极柱直径250mm（10英寸）极头直径76mm磁场间隙室温小制冷机制冷机液氮恒温器22mm24mm40mm24mm磁感应强度2.4T(24kGs)2.3T(23kGs)2.0T(20kGs)2.3T(23kGs)均匀度±1%5)CFM无液氦超导磁体（ET9000CFM-X或ET9100CFM-X型）样品腔直径25mm磁场均匀区高度50mm磁场范围5T6T7T8T9T10T11T12T13T14T15T16T1718T变温范围1.6K～325K磁场均匀度±0.1%直径为 10mm的球体内u 主要电性指标 标准系统高阻系统电压范围200V100V电流范围±10nA到± 1A±100fA到± 1A阻值范围Van der Pauw： 40mΩ到 20MΩVan der Pauw：0.4mΩ到50GΩHall bar： 10mΩ到20MΩHall bar： 0.1mΩ到50GΩu 软件界面

订货信息:

1、 阻值范围选择：

标准系统：ET9000系列

高阻系统：ET9100系列

2、 磁场选择：

标准系统：ET9001 ET9005、ET9007、ET9010、ET9000CFM-X（X： 0～18T之间选择）

高阻系统：ET9105、ET9107、ET9110、ET9100CFM-X（X：0～18T之间选择）

3、 温度范围选择：

液氮恒温器： CME-15（80K~325K）；

CME-15H（80K～500K）

制冷机： CCS-350S； CCS-350ST（10K~325K，可配500K、800K高温选件）

CCS-300S/202；CCS-300ST/202（11K~325K，可配500K、800K高温选件）

CCS-300S/204；CCS-300ST/204（10K~325K，可配500K、800K高温选件）

CCS-300S/204N；CCS-300ST/204N （7K~325K，可配500K、800K高温选件）

SHI-4S-1；SHI-4ST-1（4K～325K，可配500K、800K高温选件）

SHI-4S-5；SHI-4ST-5（4K～325K，可配500K、800K高温选件）

MinCool-1（台式小型闭循环制冷机，45K~325K）

4、其它选件：

LND-10-50液氮罐

LNP-101手动液氮泵

机械泵选件（包括相应的真空连接件）

分子泵组选件（包括相应的真空连接件）