供应日本中央精机 小行程压电陶瓷驱动

NPS-647-C1（压电陶瓷驱动）

NPS-647-C1

分辨率10nm，粗调、微调同轴驱动

结合粗调大行程，微调高分辨率的特点

高的重复定位精度

NPS-647-C1规格（NPS-647-C1 Specification）移动方向X轴一个方向行程粗调：±2.5mm

精调：0.01mm台面大小60 mm×60 mm驱动方式粗调：千分头

精调：压电陶瓷驱动材料铝合金负载9.8N (1kgf)导轨V型槽+交叉滚珠分辨率10 nm直线度0.002mm（水平，垂直）

10sec（俯仰，摇摆）定位精度0.0002mm重复定位精度±0.0001mm质量0.3Kg

NPS-941-C1（压电陶瓷驱动）

NPS-941-C1

分辨率10nm，粗调、微调同轴驱动

结合粗调大行程，微调高分辨率的特点

高的重复定位精度

NPS-941-C1规格（NPS-941-C1 Specification）移动方向X轴一个方向行程粗调：±7.5mm

精调：0.01mm台面大小粗调：90 mm×90 mm

精调：60 mm×60 mm驱动方式粗调：千分头

精调：压电陶瓷驱动材料钢材负载14.7N (1.5kgf)导轨V型槽+交叉滚珠分辨率10 nm直线度（粗调）0.003mm（水平，垂直）

10sec（俯仰，摇摆）直线度（精调）0.0005mm（水平，垂直）

0.5sec（俯仰，摇摆）定位精度0.0001mm重复定位精度±0.00002mm质量1.7KgNPS-947-C1（压电陶瓷驱动）

NPS-947-C1

分辨率10nm，粗调、微调同轴驱动

结合粗调大行程，微调高分辨率的特点

高的重复定位精度

NPS-947-C1规格（NPS-947-C1 Specification）移动方向X轴一个方向行程粗调：±2.5mm

精调：0.01mm台面大小90 mm×90 mm驱动方式粗调：千分头

精调：压电陶瓷驱动材料铝合金负载9.8N (1kgf)导轨V型槽+交叉滚珠分辨率10 nm直线度0.003mm（水平，垂直）

10sec（俯仰，摇摆）定位精度0.0002mm重复定位精度±0.0001mm质量0.5Kg

NPS-641-C1（压电陶瓷驱动）

NPS-641-C1

分辨率10nm，粗调、微调同轴驱动

结合粗调大行程，微调高分辨率的特点

高的重复定位精度

NPS-641-C1规格（NPS-641-C1 Specification）移动方向X轴一个方向行程粗调：±5mm

精调：0.01mm台面大小粗调：60 mm×60 mm

精调：38 mm×40 mm驱动方式粗调：千分头

精调：压电陶瓷驱动材料钢材负载9.8N (1kgf)导轨V型槽+交叉滚珠分辨率10 nm直线度（粗调）0.002mm（水平，垂直）

10sec（俯仰，摇摆）直线度（精调）0.0005mm（水平，垂直）

0.5sec（俯仰，摇摆）定位精度0.0001mm重复定位精度±0.00002mm质量0.8Kg