供应离子清洗器

型号规格：PDC—M

整机规格：500×250×300（长×宽×高）mm

整机重量：25 Kg

反应舱规格：Φ165×L210 mm (耐热玻璃)

反应舱有效容积：4.5 L

输入电源：220 V／50Hz

整机输入功率：400 W

射频输出：0～150Ｗ（连续可调）

射频频率：13.56 MHz

定时器范围：0～15 min

极限真空度：－0.095 MPa

真空度测量及量程：0～－0.1MPa机械式真空表

气体流量计量程：0.1～1.6 L／min不锈钢针及转子流量计，显示清洗气源的AAAAAAAAAAAAAAAA流量，方便几种气体按比例混合

进气针阀：控制清洗气源进气的流量

快速进气阀：控制快速进气，使清洗舱内气压瞬间与外界平衡

观察窗：观察反应舱内辉光状态

常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等