自自动曝光机对位视觉检测单面对准及曝光集成电路、声表面波器件

主要技术特点

对准工作台：

对准精度高，漂移小。精密楔形误差补偿机构实现三点找平，找平力小，延长掩模版使用寿命。

曝光系统：

采用柱体蝇眼透镜和高能力集光的椭球反射镜等精密光学件，具有较高的光强、均匀性、光学分辨率。

分离视场显微镜：

在X、Y方面进行大范围扫描观察，可进行单视场或双视场切换，提高对准效率和套准精度，同时兼容CCD成像显示功能。

电气控制:

采用可编程控制器（PLC）、LCD显示屏，操作方便，汞灯电源易于触发，可靠性高。该设备的关键件采用进口或专业厂家制造，气动元件采用SMC的产品，提高了设备的稳定性、可靠性，同时提供个性化服务。

如今传统手动曝光机，用人工来进行菲林与底板手工对位精度在100um左右；而且重复靠人眼对位，劳动强度非常大，年轻人不愿承担。采用全自动CCD视觉对位系统，达到高精度，高速度的工艺需求，极大得提高客户曝光机核心竞争力。

技术参数：

系统名称： CCD精密对位系统

硬件平台：Windows

对位精度：5um-30um(随视野大小变化）

对位时间：小于1秒

对位补偿功能：有

相机个数：2或4个

靶标类型：圆、直角、边、方形等

对位平台：XXY平台、XYθ平台

系统特点：1.系统稳定，性价比高。系统硬件采用国外进口配件，系统稳定，性价比优势明显；

2.处理速度快，对位精度高。对位速度小于1s，对位精密，对位精度可高达5um；

3.系统集成快、匹配迅速。现场调试时间最快4小时，客户将以最快速度用到我们系统；

4.操作简单，界面简洁。开机即可直接工作，普通员工即可操作；

5.具有补偿功能。微米级调整，工业级应用；

6.具有防呆功能，无误操作；

7.系统定制。能根据客户需要定制系统和对系统进行修改，体现系统唯一性。