供应Aerotech ABG10000气浮平台

Aerotech 2轴气浮平台ABL1000气浮平台

1 专为高性能校准和装配应用设计

2 分辨率达2nm的直线编码器反馈

3 闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)

4 全预加负载气浮导轨(空气轴承)

5 低噪音线性放大器

6 全部非接触设计

行程 ≤150 mm

精度 ±0.20 um

重复定位精度 ±0.05 um

直线度 ±0.25 um

平面度 ±0.25 um

ABL3600气浮平台

1 专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计

2 双轴,大孔,开放式结构

3 非接触直线编码器反馈,精度高

4 双直线电机驱动X Y 轴

5 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)

行程 ≤250 mm

精度 ±1 um

重复定位精度 ±0.20 um

直线度 ±0.50 um

平面度 ±1 um

ABL8000气浮平台

1 专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计

2 十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好

3 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)

4 行程达1米

5 直线编码器或激光干涉仪反馈

6 可集成包括花岗岩的XY子系统

行程 ≤1000 mm

精度 ±0.50 um

重复定位精度 ±0.20 um

直线度 ±0.40 um

平面度 ±0.40 um

ABL9000气浮平台

1 世上性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合

2 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)

3 行程达1.2米X1.2米

4 Y轴双直线电机驱动

5 直线编码器或激光干涉仪反馈

6 主动控制偏转

行程 ≤1200 mm

精度 ±0.50 um

重复定位精度 ±0.10 um

直线度 ±0.50 um

平面度 ±0.50 um

AHL9000直线电机平台

1 专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计

2 扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承

3 行程达1.2米X1.2米

4 双直线电机驱动步进轴

5 直线编码器或激光干涉仪反馈

行程 ≤350 mm

精度 ±1.0 um

重复定位精度 ±0.20 um

直线度 ±0.60 um

平面度 ±0.60 um

ABG10000气浮平台

1 气浮导轨实现超平滑运动

2 所有轴都预加载荷

3 下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动

3 行程达1 m x 1 m

4 非接触直线编码器(光栅)

5 可选Z 轴,隔振,机械底座和控制箱

6 适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．

Travel 行程 ≤1000 mm

Accuracy 精度 ±2.0 um

Load 负载 84 kg

FiberCouple 130平台

1 同一条导轨上两个运动平台

2 独立或并列运动

3 2.5nm分辨率

4 非接触直线电机驱动

5 交钥匙的配套驱动和控制系统

6 适合辅助轴

VascuLathe ACS/ASR

1.直线平台与旋转平台的高度集成化

2.ER筒夹系统使材料箝位自动化

3.可选夹紧装置夹紧管

4 先进的控制系统结构

5.单或双主轴结构

6.可选择湿切割

7.拥有两项Patent No. 7,038,334 Patent No. 7,105,956

LaserTurn

1.直线平台与旋转平台的高度集成化

2.气动3爪卡盘或ER筒夹

3.较大的通孔可以使产品通过

4.可选择在前后加工的平台

5.直接驱动直线和旋转电机技术

PlanarHD气浮平台

1 2 m/s扫描速度和5g加速度的输出

2 ***快的转向和***小的稳定时间

3 主动偏转控制

4 直线光栅或激光干涉仪反馈

5 行程1.2 m x 1.2 m

行程 ≤12 00 mm

精度 ±300 nm

重复定位精度 ±50 nm

分辨率 0.25 nm

APT 系列平转和倾斜组合转台

1 满足安全，国防建设和监测全球市场的需要

2 把先进的高精密机械与业界领先的控制技术结合在一起

3 惯性稳定

4 包含内置滑环，可连续旋转360 °

5 高定位精度和速度性能

6 易于安装和系统集成的集成电路

7 低维护，高可靠性提供***低的拥有成本

平转： 速度180 ° /秒，持续360 °

倾斜： 速度180 ° /秒，范围为± 95 °

位置分辨率：7.6弧秒

定位精度： 120弧秒

有效载荷： 35公斤