热质量流量计

一.概述

TS170直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，TS170用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，TS170也同样适用。

TS170直接热式MFC/MFM与其它差压原理的TS170一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。

二．使用范围

产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。

三.产品特点

●直接热式原理，无层流元件

●无压损,抗结晶,抗腐蚀

●适用于各种低压和高压管道

●精确测量和控制气体的质量流量

●预热时间短,零漂小，可靠性高

●多种气体可选,也可自行输入

四.技术参数 技术指标TS173-RC质量流量控制器TS173-RM质量流量控制器量程范围小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM大量程:30SLM～2000SLM控制范围控制器20：1流量计20：1准确度流量：±3%F.S压力：0.5% F.S温度：±1℃线性±0.5%F.S重复精度±0.2%F.S响应时间100ms10ms数字量RS232/485，MODBUS协议模拟量0～5V、4～20mA、1～5V供电12V/24V/±15V可选工作温度0～50℃工作压力工作压差：0.03～0.5MPa工作压降：<0.01Mpa耐压低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa电气连接DB15孔 流

量

产品漏率1×10-9SCCSHe温度系数±0.015%F.S/℃底座材质316L密封材料氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶接头VCR1/4;swagelokφ6