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VMU仪器特点

◆ 高端配置，超精密全自动测量，四轴CNC控制；

◆ 三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统；

◆ Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；

◆ Navitar自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；

◆ 全鼠标、手柄操作，简单易用；

◆ 可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；

◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；

◆ Vispec全自动影像测量软件（高端版）；

◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。

VMU技术参数

型号 VMU222 VMU322 VMU432 VMU542 行程(mm) 200×200×200 300×200×200 400×300×200 500×400×200 外部尺寸(mm) 1040×700×1620 1040×700×1620 1240×800×1620 1440×900×1620 重量(kg) 150 160 200 250 承重(kg) 25 25 25 25 测量精度 XY轴* E2=(2.0+L/300)µm E2=(2.5+L/300)µm Z轴** E1=(5.0+L/200)µm 速度 XY轴 200mm/S Z轴 100mm/S 光栅尺 Renishaw光栅尺，0.4µm分辨率 CCD SONY 1/2"CCD黑白/彩色 光源 轮廓光 LED冷光源，256级亮度可调 表面光 6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 同轴光 LED冷光源，256级亮度可调 光学系统*** Navitar 6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326 软件 Vispec测量软件（高端版） 运动控制 自主的CNC直流伺服系统 保修期 1年 工作环境 温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% 振动<0.002g，低于15Hz 电源 220V/50Hz/10A

*L表示测量长度，以毫米为单位。

**Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。

***放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。