苏州晶淼半导体设备有限公司
主营产品:
2023年11月01日 13:07
型号 |
JM1606-NH16-RCA |
设备名称 |
RCA清洗机 |
保修期 |
一年 |
产地 |
苏州 |
额定功率 |
15K |
工作电压 |
380 |
用途 |
去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物 |
重量 |
500KG--2T |
尺寸大小 |
200*500 |
校准周期 |
1个月 |
交货期 |
三个月 |
全自动RCA腐蚀机
设备主体由德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工而成。可去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。该设备适用于2—8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀,关键部件采用进口件,包括气动阀,PFA管道,保证工作介质的洁净度,避免杂质析出。工艺过程全自动,由机械臂负责工件在槽体间的转换,除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完成。可存储多条工艺时序,方便使用。人机界面为触摸屏,方便直观。
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