蓝宝石切割液

金钢砂线专用切削液

在半导体行业，通常采用钢丝锯来切割又硬又脆的硅锭，从而获得所需的晶片。为了提高切割效率和切割质量，在切割时都必须使用切削液，在使用钢丝锯进行切割时需要使用含有研磨晶粒为碳化硅（SiC）的切削液。现有的切削液由悬浮液体和研磨晶粒组成，所述研磨晶粒为碳化硅（SiC），研磨晶粒在切削液中要分布均匀，从而保证在切割过程中研磨晶粒在钢丝锯上能均匀分散，使钢丝锯性能更好。确保研磨晶粒更好地分散和悬浮的关键因素是切削液的粘度。切削液放在同钢丝锯附近的储液罐内，通过自吸泵将切削液抽出并通过喷嘴送到工件的切割处。

在硅锭的切割过程中将会产生切屑或切割碎片，特别是细粉末状的切屑，这种切屑，即硅粉与切割中产生的废碎硅片虽然价值很高，但是很难回收，因为切断产生的硅粉末与研磨晶粒（如SiC）在切削液中紧密混合在一起。因此，通常在切割1~2次后，就更换切液，然后再对使用过的切削液进行过滤分离其中的硅粉，减少研磨晶粒（如SiC）的含量，实现对硅粉的回收。

金刚石切割钢丝的出现，使得金刚石钢丝切割技术在很多层面上比传

统的钢丝锯技术更具优势，特别是在切屑硅粉回收方面。在金刚石钢丝锯技术中，研磨颗粒不是悬浮在切削液中，而是嵌在钢丝中。这就意味着可以使用粘度更低的切削液，从而使切割速度更快。这也意味着，钢丝锯/工件界面将产生更多热量，这就需要一种比传统切削液的冷却性能更好的切削液。

用粘度低的、不含研磨颗粒的切削液更有利于硅料的切割和切屑

硅粉的回收，更能适应切屑硅粉的悬浮和分散。切屑硅粉的聚集会导致切削液供输系统中切削液喷嘴的堵塞，缩短切削液更换周期。因此要求切削液必须如下重要属性：

第一，散热性好，冷却效果好。由于金钢砂线切割速度快，线锯和硅棒表面会产生的更多的热量，需要及时散热不致于影响硅片质量。

第二，切屑悬浮和扩散性好，切屑颗粒中的硅颗粒能很好地浸湿，切削液要有足够湿润性，能使切屑悬浮，从而能在钢丝锯和工件上快速移动，也能很容易从切屑上移除，不至于残留在硅片表面形成脏片污片。另外，切屑的聚集会导致喷嘴堵塞和频繁更换切削液。

第三，润滑性能好，尤其是高温润滑性能，不会导致产生线痕或者线印。

第四，清洗性能好，为完全水溶性。

第五，贮藏时间长，不会滋生细菌，发生变质。

第六，切削液性能稳定，高温不会发生分解。

第七，金钢砂线不易被腐蚀。