博科金属TA1高纯度钛圆靶高强度 耐腐蚀 耐高温 定制

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靶材的主要性能要求纯度纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。杂质含量靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。密度为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。晶粒尺寸及晶粒尺寸分布通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。宝鸡博科金属制品有限公司位于工业重城，素有“钛城”美誉的--宝鸡。公司依托“中国钛城”的强大综合实力，进行的资源共享，具备得天独厚的地域、材料、等优势，为用户提供优质的产品。我公司主要生产钛及钛合金的锻件、钛板、钛棒、钛管、锆板、锆棒、锆铸件及钛铸件，钨、钼、钽、铌、铪等有色金属的产品。公司产品遍布海内外，国内市场包括:北京、广州、上海、天津、四川、内蒙、山东、江苏等地;国际市场包括：美国、日本、德国、澳大利亚、加拿大、东南亚等地区，产品质量受到一致好评，建立很多长期合作关系。我公司坚持以人为本的管理理念，以科技为支撑、以创新为动力、以质量求发展、以诚信为生命，努力打造成为钛制品行业的领军企业。追求客户与公司的共同发展，欢迎各行业新老客户来电来函洽谈业务！