生产钛靶加工厂规格齐全可定做高品质可信赖谦腾

钛靶材的主要性能

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

公司生产的钛靶产品展示

公司生产的产品类别

宝鸡谦腾钛业有限公司坐落于有“中国钛谷”之称的炎帝之都-宝鸡，依托宝鸡行业优势及强大的技术支撑，是一家以钛金属材料、制品、设备的研发、加工、销售为一体的公司。公司主营钛板、钛棒、钛管、钛丝、钛网、钛标准件、钛法兰、钛靶材、钛锻件、钛管件，钛网篮、钛管道、钛铜复合棒、钛钢复合板、钛制冷凝器、钛蛇形管、钛制蒸发器、钛反应釜、钛塔器、钛搅拌器、钛板式换热器、钛过滤器等，是一家拥有进出口资质的企业。

公司产品广泛应用于航天、航空、石油、化工、化学、氯碱、电镀、电力、冶金、制盐、医药以及船舶、海洋工程、地热工程、环保等领域,客户已遍布全国各地。公司本着平等互利，共同发展，质量优先，用户至上的原则，始终秉持优质优价、合作双赢的经营理念，让每一位客户从每一件产品中获得最大的收益是我们谦腾的追求。公司积极开拓海外市场，先后为新加坡和中亚的客户提供了产品服务，受到了国外客户的一致好评，我们愿为您提供更优质的服务，与您携手并进，共创辉煌！