供应AerotechABL系列气浮平台

Aerotech ABL系列气浮轴承直驱直线运动平台，拥有超高精度的定位功能，精度在0.2~0.5um之间。

设计特点 专为高性能扫描和检查而设计 所有空气轴承表面上的有效空气预载 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率 高刚性，可承受重载，并具有出色的几何性能 行程达500毫米

前沿制造业，特别是在半导体和数据存储行业中，要求的定位公差超出了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承台具有完全主动的预紧力，极高的刚度和出色的几何特性，专门为满足这些需求而设计。

空气轴承设计，实现高动态性能

ABL1500在垂直和水平表面上均带有空气预载功能。相对的薄膜压力可保持轴承的名义间隙公差。除了大的空气轴承表面可以将负载分配到较大的表面积上之外，这种设计还可以使平台具有出色的刚度，非常适合重载或偏载。

专有的制造技术导致了具有无法超越的几何特征的阶段。空气轴承具有固有的平均效应，可限度地提高性能。薄膜将填充小的表面空隙并允许其他不规则性。此特性可产生出色的螺距，滚动，偏航，直线度和平坦度规格。

直线电机驱动

此阶段的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。该设计体现了Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验。BLMC使用无铁力，这意味着零齿槽效应和无吸引力，从而实现了无与伦比的运动平稳性。BLMC能够产生高的力和速度，代表了功率和性能的结合。

零维护

我们的完全非接触式空气轴承，非接触式线性电动机驱动器和非接触式反馈设备确保了Aerotech设备所期望的高性能水平下的多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触，所以随着时间的流逝，ABL1500不会遭受磨损或性能下降。使用寿命几乎是无限的，并且由于没有润滑-只有清洁，干燥的气体-空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。

电缆管理

我们精心优化电缆弯曲半径，以确保多年无故障运行。万一发生故障，Aerotech的模块化设计使电缆更换变得快速简便，停机时间最少。我们将所有客户要求的电缆，空气软管等都包含在CMS捆绑包中，以便于集成到最终系统中。两端完全连接，可轻松集成到客户的机器中。

技术指标

机械规格模型ABL1500-050ABL1500-100ABL1500-200旅行50毫米100毫米200毫米准确性（1）E1已校准±0.3微米±0.3微米±0.5微米标准±2.0微米±4.0微米±8.0微米E3已校准±0.2微米±0.2微米±0.4微米标准±1.0微米±2.0微米±5.0微米重复性

（双向）（1）E1±0.1微米±0.2微米E3±0.05微米±0.05微米±0.1微米直线度（1）±0.25微米±0.4微米±0.5微米平面度（1）±0.25微米±0.4微米±0.5微米沥青±0.5弧秒±1弧秒±2弧秒滚±0.5弧秒±1弧秒±2弧秒偏航±0.5弧秒±1弧秒±2弧秒速度2 m /秒加速度2克（空载）力（连续）93.6 N载重量（2）卧式35公斤侧25公斤运营压力80 psi±5 psig耗气量24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴）移动质量（空载）5.1公斤舞台质量14.7公斤16.0公斤18.6公斤材料铝MTBF（平均无故障时间）30,000小时通过每个阶段的认证。列出了轴上加载的轴方向。规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。供气必须清洁，干燥至0°F露点并过滤至0.25 µm或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。对于XY配置，上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm，则需要ABL1500WB作为下轴。

模型ABL1500-300ABL1500-400ABL1500-500旅行300毫米400毫米500毫米准确性（1）E1已校准±0.5微米±0.6微米±0.6微米标准±12.0微米±16.0微米±20.0微米E3已校准±0.4微米±0.5微米±0.5微米标准±5.0微米±5.0微米±5.0微米重复性

（双向）（1）E1±0.2微米±0.3微米E3±0.15微米±0.2微米直线度（1）±0.75微米±1.5微米±2.0微米平面度（1）±0.75微米±1.5微米±2.0微米沥青±3弧秒±4弧秒±5弧秒滚±3弧秒±4弧秒±5弧秒偏航±3弧秒±4弧秒±5弧秒速度2 m /秒加速度2克（空载）力（连续）93.6 N载重量（2）卧式35公斤侧25公斤运营压力80 psi±5 psig耗气量24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴）移动质量（空载）5.1公斤舞台质量21.3公斤23.9公斤26.5公斤材料铝MTBF（平均无故障时间）30,000小时通过每个阶段的认证。列出了轴上加载的轴方向。规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。供气必须清洁，干燥至0°F露点并过滤至0.25 µm或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。对于XY配置，上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm，则需要ABL1500WB作为下轴。ABL系列定位平台优点：

几何性能卓越的气浮导轨

1.2 m x 1.2 m 的行程

光柵尺或激光回馈干涉仪

亚微米定位精度

XY 和 XYZ 集成系统

无槽直接驱动电动机

同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高精密运动平台，比如 pro系列，ANT95系列等等。

更多产品信息请联系销售工程师：于工