紫外213nm被动调Q激光器（单脉冲,1

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FQSS 213-50

被动型二极管泵浦调Q固体激光器（DPSS)

---213 nm

---单脉冲

---<1.3ns

---1~60 Hz

--- >50&mu;J

光学数据波长213nm空间模式TEM00M²<1.5光束发散角（全角）&lt;3.0 mrad光斑椭圆度&lt;2:1光束直径450±150&mu;m（在激光器出口处）峰值功率40kW@1~60Hz脉冲能量>50&mu;J@1~60Hz脉冲重复率（用外触发器）1~60Hz脉冲宽度(半值全宽度)<1.3ns极化比>100:1，水平的长期的脉冲稳定性（6hrs）&lt;±5%脉冲-脉冲稳定性&lt;2% rms(关于脉冲能量)激光等级4/IV剩余的266nm,532nm,1064nm发射能量占输出脉冲能量的&lt;0.7&mu;J光输出空间光电路数据电功率消耗&lt;90W供电电压90~265V AC（50~60 Hz）或24 V DC接口RS-232，USB其他参数预热时间&lt;10min工作温度18~38℃激光头尺寸273×65×55mm(核心尺寸)选件手动快门或电子束拦截器外部望远镜（例如M=5）单机系统（CDRH兼容，包括按键开关，散热片，光束手动快门）

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