中央精机CHUO SEIKI光学测定平台

移動方向 XY軸2方向

ステージ面 60mm×60mm

クランプ方式 板クランプ

操作部取付位置 サイド

移動機構/送り方式 CMH-13RM（標準マイクロメータ）

移動量 ±6.5mm

移動量/ツマミ１回転 0.5mm

目量 マイクロメータ式0.01mm

感度 0.003

移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）

移動精度HV 真直度（水平?垂直）0.002mm

移動精度YP ヨーイング20sec、ピッチング30sec

モーメント剛性 ヨー剛性 0.10sec/N?cm、ピッチ剛性 0.40sec/N?cm、ロール剛性 0.40sec/N?cm

平行度 0.050mm

運動の平行度 0.020mm

XY直交度 0.010mm

耐荷重 58.8N（6kgf）

質量 0.42kg

主要材質/表面処理 アルミ合金／黒アルマイト梨地