KLA MicroXAM-800光学轮廓仪-基于白光干涉仪

产品描述MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。

该系统支持相位和垂直扫描干涉测量，两者都是传统的相干扫描干涉技术（CSI）。MicroXAM进一步扩展了这些技术，它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。

MicroXAM的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。主要功能针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量SMART Acquire简化了采集模式并采用已知最佳的程序设置的测量范围输入Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性利用已知最佳技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法主要应用台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度纹理：3D粗糙度和波纹度形式：3D翘曲和形状边缘滚降：3D边缘轮廓测量缺陷复检：3D缺陷表面形貌工业应用大学、研究实验室和研究所半导体和化合物半导体LED：发光二极管电力设备MEMS：微电子机械系统数据存储医疗设备精密表面汽车还有更多：请与我们联系以满足您的要求