Filmetrics-A KLA Company-反射膜厚仪/测厚仪/F50系列

反射膜厚仪/测厚仪/F50系列 自动多点测量成像Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径标配200mm，可达450mm。(稳定的样品台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)测绘图案可以是极座标、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。内建数十种预定义的测绘图案。不同的F50型号仪器是根据波长范围来加以区分的。

标准的F50是最受欢迎的产品。一般较短的波长(如F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。可测样品膜层：基本上所有光滑的，非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括：氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC光刻胶 聚合物 聚亚酰胺多晶硅 非晶硅 硅 额外的好处：· 每台系统内建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种· 应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）· 网上的 “手把手” 支持(需要连接互联网)· 硬件升级计划 型号厚度范围*波长范围F5020nm-70µm380-1050nmF50-UV5nm-40µm190-1100nmF50-NIR100nm-250µm950-1700nmF50-EXR20nm-250µm380-1700nmF50-UVX5nm-250µm190-1700nmF50-XT0.2µm-450µmnmF50-s9804µm-1mm960-1000nmF50-s13107µm-2mmnmF50-s155010µm-3mmnm