Agilent 5530 激光干涉仪

Agilent 5530激光干涉仪-以激光计量的国际标准验证机床的性能5530 Dynamic Calibrator, superior accuracy, portability and reliability 安捷伦激光系统序号型号产品名称15519A激光头(0.7m/s)210882B激光头电缆7米310753B三角架4E1738A空气温度传感器5E1737A材料传感器6E1739A传感器电缆7E1736A传感器适配卡8E1735A测量模块9E1734A激光头装运箱10E1734B三角架装运箱1155280B线性组件1255281A角度组件1355282A平面度附件1410777A光学直角尺1510768A对角测量组件1655283A直线度测量组件1755290B转台1810775A直线度长距离选件 前10项为激光部分，后8项为光学镜组件 主要技术指标

Overall Accuracy: 0.4ppm

• 20-percent greater than other available solutions

Sensor Accuracy

• Material Temperature: +/- 0.1 deg C

• Air Temperature: +/- 0.1 deg C

• Air Humidity: +/- 5% RH

• Air Pressure: +/- 50 pa

• 5530 Dynamic Calibrator Brochure (PDF, 774 KB)