激光干涉仪原理 - 全天候商务网

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类型	激光干涉仪	型号	SJ6000
测量范围	40M	测量分辨率	1NM
最近工作距离	1（mm）	用途	检测和校准机床
加工定制	否

一.激光干涉仪概述

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。

二.激光干涉仪工作原理

按图1所示方式将线性反光镜和两个分光镜连接，我们称为“线性干涉镜”。它的作用是为光束提提供一个路径。图中光束依照箭头的方向传播。

入射光束进入线性干涉镜，分成两道光束，一道为参考光束，另一道为光束。参考光束进入反射镜，测量光束通过分光镜进入另一个反射镜，然后集中汇聚到激光头，酒缸头内部有探测器来监控这两道光束。

在测量时，需要保证干涉镜不动，而使反射镜沿着被测量的轴移动。在移动过程中，干涉仪将采集光束路线的变化通过测量结果与待测机床的标尺读数比较，便可测得机床精度的误差。