电子工业用六氟化硫

[table][tr][td] 分子式：SF6 分子量：146.05[/td][/tr][tr][td] 项 目[/td][td] 国 标 GB/T18867-2002[/td][td] 企业标准[/td][/tr][tr][td] 六氟化硫(SF6)的体积分数/10-2 ≥[/td][td] 99.99[/td][td] 99.999[/td][/tr][tr][td] 空气的体积分数/10-6 ≤[/td][td] 50.0[/td][td] 40.0[/td][/tr][tr][td] 四氟化碳(CF4)的体积分数/10-6 ≤[/td][td] 15.0[/td][td] 12.0[/td][/tr][tr][td] 湿度(H2O)的体积分数/10-6 ≤[/td][td] 8.0[/td][td] 6.0[/td][/tr][tr][td] 酸度（以HF计）的体积分数/10-6≤[/td][td] 1.0[/td][td] 0.7[/td][/tr][tr][td] 可水解氟化物（以HF计）的体积分数/10-6≤[/td][td] 1.0[/td][td] 0.7[/td][/tr][tr][td] 其他杂质(CO2、C2F6、C3F8、SO2F2、S2OF2、S2OF10)的体积分数/10-6≤[/td][td] 15.0[/td][td] 12.0[/td][/tr][tr][td] 杂质综合的体积分数/10-6≤[/td][td] 100[/td][td] 80[/td][/tr][tr][td] 颗粒[/td][td] 由供需双方商定[/td][td] 由供需双方商定[/td][/tr][/table] 性状： 常温常压下为气态，它是一种无色、无臭、无毒、无腐蚀性的气体。熔点－50.8℃，升华点或沸点为－63.8℃，气体密度6.16g/l（20℃，0.1MPa），在熔点时密度为2.51g/cm3，具有高的绝缘性和灭弧能力。

用途： 电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。

贮存： 应存放于阴凉干燥、通风良好的地方。

运输： 长途运输时应附有GB19－73《危险货物包装标志》中指定标志。气瓶充装系数不大于1.33kg/L。

包装： 应充装在洁净、干燥的无缝高压气瓶中，气瓶容积一般为40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根据用户需要选用各种容积的气瓶或其它容器。（一般情况，使用气瓶公称压力为15MPa时，充装系数＜1.37㎏/L )。