F564 三坐标测量机

F564 三坐标测量机F564三坐标测量机技术描述 一、技术参数

行程范围：X轴------500 mm

Y轴------600 mm

Z轴------400 mm

结构型式：活动桥式

传动方式：柔性齿型同步带+预载荷高精度空气轴承

长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm

机台：高精度花岗岩平台

使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m

温度变化 1℃/h

空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

空气流量：100 L/min ? 120 L/min

整机尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m

机台承重：500 kg

整机重量：850 kg

控制及探针测量系统：

1．驱动系统：直流伺服电机 (日本)

2．控制系统：Renishaw （英国） UCC1

3．操作方式：计算机自动控制 + 微电脑操纵盒（Renishaw MCU1）

4．控制软件：Serein DMIS V2.0

5．探测系统：Renishaw（英国）MH20i （标准配置）

或 Renishaw（英国）PH10M+TP20 (高级配置)

6．测量不确定度（E）：（2.8+L/300）μm

二、设备配置

1．机台、机座 1台

2．RENISHAW测头座 MH20i 1个

或 RENISHAW测头座 PH10T（自动控制） 1个

3．RENISHAW测头

10. 电脑, 显示器, 打印机 1套

三、可实现功能 1． 柔性定位：找正、旋转、平移及坐标存取。 2． 几何元素测量：点、直线、平面、圆、圆柱、圆锥、球、相交、距离、对称、夹角。 3． 形状误差定位：直线度、平面度、圆度、圆柱度。 4． 位置误差评定：平行度、垂直度、平面度、倾斜度、同轴度、对称度、位置度。 5． 脱机编辑系统：自学习编程、脱机编程、自检纠错功能、CAD导入系统。

四、机械特点 1． 整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著提高了系统的运动性能，确保了测量精度及稳定性。 2． 三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，保证测量过程中良好的温度稳定性及刚性。 3． 三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，使运动更平稳，导轨永不受磨损。 4． 长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而提高设备的稳定性。 5． 控制系统采用英国 RENISHAW 的 UCC1 高速高精度自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制；上下位采用光纤通讯，增强了电气抗干扰能力。

结构示意图 六、应用范围

主要应用于航空、汽车、摩托车、军工、电子、模具等行业。