横河运动控制平台 X-Y-θ 平台

横河运动控制平台 X-Y-θ 平台的详细信息

品牌：横河

横河运动控制平台 X-Y-θ 平台

产品简介：

产品特色与应用 MicroStage是一种结合了两台LINEARSERV系列直线电机以及DYNASERV系列直接驱动伺服的高速、高精度的运动控制平台。

MicroStage运动平台可以应用与各个工业的各个机械设备，特别是应用在半导体制造以及探伤检测设备上，这种高精度的运动控制平台已经被非常多的用户认可。

产品详情：

横河直驱伺服是横河公司基于运动控制技术于1988年推出的高性能伺服驱动产品，高精度、高扭矩、高可靠性是横河直驱伺服的显著特点，大多应用于对于定位控制有高要求的最尖端的设备。秉承着横河公司"质量第一"的原则，横河直驱伺服是横河成熟控制技术的集中体现，它的每一步发展都引领着业界的潮流。

X-Y-θ 平台

产品特色与应用

MicroStage是一种结合了两台LINEARSERV系列直线电机以及DYNASERV系列直接驱动伺服的高速、高精度的运动控制平台。

MicroStage运动平台可以应用与各个工业的各个机械设备，特别是应用在半导体制造以及探伤检测设备上，这种高精度的运动控制平台已经被非常多的用户认可。