NILT纳米压印模板抗反射增光掩膜纳米压印掩膜丹麦原厂代理

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型号：ARSS_B_06

抗反射掩膜，增光掩膜，衍射光栅模板，NILT纳米压印模板、掩膜、标准模板

丹麦NIL TECHNOLOGY Aps (NILT) 公司除了提供纳米压印机外，还供应各类材质，各类功能的压印模板，掩膜。

NILT通过纳米压印机的热模压、滚印、注射模塑和紫外压印等不同的工艺，能生产制造出各类不同功能的掩膜/模板。其中标准的压印掩膜（模板）根据功能的不同，分为抗反射掩膜，增光掩膜，衍射光栅模板，金属线栅偏光镜标准模板，微针体标准母膜，大面积柱形标准母膜，微图形标准模板 (MICRO)，亚微米标准模板。

标准压印掩膜（Standard Stamp）

NIL抗反射掩膜 (ANTI-REFLECTION)

抗反射膜模板的特点是以大面积为主；适用于可见光范围和近红外范围，反射率可减低到 0.2% 规格Type BType AType CType NIR模板型号ARSS_B_06ARSS_A_02ARSS_C_02ARSS_NIR_02材质NickelNickelNickelNickel光栅类型Hexagonal ArrayHexagonal ArrayHexagonal ArrayHexagonal ArrayPitch300 nm250 nm250 nm500 nmAverage height300 nm350 nm350 nmLarger than 700 nm模板厚度300 µm300 µm300 µm300 ?m模板尺寸70 mm x 70 mm120 mm x 120 mm250 mm x 250 mm100 mm x 100 mm有效面积50 mm x 50 mm100 mm x 100mm 200 mm x 200 mm80 mm x 80 mmExpected %R PMMALess than 0.6%Less than 0.2%Less than 0.2%Less than 0.2%

Less than 0.3%Pattern polarityProtrusionsProtrusionProtrusionsHoles

NIL衍射光栅模板 (DIFFRACTION GRATINGS)

衍射光栅采用镍材质模板，表面纹路分为线状或交叉状两种，平均深度为250nm，线距为500nm。适合用于：LED & OLED 光的外耦合OUT-COUPLING，将不同光导入波导WAVEGUIDE，光学分束，镭射感应器，薄膜行业和太阳能光伏等。

特点：

纹路形状呈正弦曲线SINUSOIDAL ，纹路的参数也不同

80 x 80mm有效面积（模板面积为100 x 100mm）

规格：规格Linear GratingCrossed grating模板型号DG_L500DG_C500材质NickelNickelProfile shapeSinusoidalSinusoidalPitch500 nm500 nmAverage depth250 nm250 nm模板厚度300 µm300 µm模板尺寸100 mm x 100 mm100 mm x 100 mm有效面积80 mm x 80 mm80 mm x 80 mm

NIL金属线栅偏光镜模板(WIRE GRID POLARIZER)

一般金属线栅偏光镜制造出来后需要经过一定测试，而NILT通过纳米压印生产出金属线栅偏光镜的标准模板，可避免频繁的测试，免去因测试所造成的成本。标准模板的线呈槽状，槽宽、槽距均为50nm，模板的有效面积可达12 x 12mm, L/S 50nm，模板复制子模适用于UV或热压过程。

规格：规格Type AType B模板型号WGPSS_A_V1WGPSS_B_V1模板尺寸2 inch round wafer with flat2 inch round wafer with flat材质SiliconSilicon有效面积12 mm x 12 mm6 mm x 6 mm模板厚度500 µm +/- 25 µm500 µm +/- 25 µm结构类型50 nm wide grooves with 50 nm spacing50 nm wide grooves with 50 nm spacing横向公差+/- 10 nm+/- 10 nm结构深度100 nm100 nm垂直公差+/- 15 nm+/- 15 nm缺陷密度Less than 0.01% of patterned areaLess than 0.01% of patterned area

NIL微针体标准模板 (MICRO-NEEDLE STANDARD STAMP)

NILT提供的微针体标准模板的特点是特点：1. 微针呈正方形排列相隔500um； 2. 有效面积达70mm(斜角计)

微针体模板可经热压或铸造出所需微针形状，可利用模板采用镍片注塑而成。标准模板造出的微针体有足够硬度可用于皮肤的不同测试，医学方面可应用的涂药式微针或注射式微针。

规格：规格Micro-needle - Type A模板型号MNSS_A_V1材质Silicon微针布局Square array微针基本尺寸100 µm x 100 µm微针高度200 µm (base to tip)微针尖端高度70 µm微针尖端曲率半径~1 µm微针间距500 µm模板尺寸100 mm diameter (SEMI standard wafer with a flat)模板厚度525 µm (SEMI standard wafer with a flat)有效面积70 mm diagonal square area in the center

NIL精工增光掩膜 (LINEAR AND CIRCULAR ENGINEERED DIFFUSERS)

NILT的精工增光掩膜可精准控制增光度，形状可选择直线、椭圆形和圆形，定制性强，面积可达 120x 120mm。它的功能在于控制照明元素LIGHTING ELEMENTS和光源LIGHT SOURCES的光量。例如镭射、LED、LCD的背光源，而同时拥有很高的透光率。

规格

Circular versionType BType D模板型号EDSS_B_C_V1EDSS_D_C_V1结构类型Engineered DiffuserEngineered Diffuser输出类型Circular diffusionCiruclar diffusionDiffusion angles (FWHM)*25°25°材质NickelNickel模板厚度300 µm300 µm模板尺寸70 mm x 70 mm120 mm x 120 mm有效面积50 mm x 50 mm100 mm - 100 mm

NIL大面积柱形标准模板 (LARGE AREA PILLARS)

大面积柱形标准模板采用光子晶体结构，是以方形排列光子晶体并分布在4个1平方米的格子的硅晶圆上。

可选4种不同规格的大面积柱形模板，结构尺寸在125 – 275nm之间，

规格:规格

模板型号LAPSS_V1模板尺寸2 inch round wafer材质Silicon厚度525 µm +/- 25 µm结构尺寸125 nm, 175 nm, 225 nm, 275 nm (rounded squares)Structure pitch200 nm, 300 nm, 400 nm, 500 nmProtrusion height100 nm - 300 nm (you decide!)Tolerance, lateral and vertical dimensions+/- 15%缺陷密度Less than 0.1% of total patterned area

NIL亚微米标准模板 (SUB-MICRO)

亚微米标准模板的图形有3种，包括线(500nm)、柱(1um)、孔(2um)，是专门为测试亚微米至纳米级压印而设计的，材料可选择硅或石英，标准尺寸为 20 x 20mm。

规格：模板型号MSS_V1模板尺寸20 mm x 20 mm材质Silicon厚度1 mm结构尺寸1 µm - 50 µmEtch depth2 µm, 5 µm or 10 µmPattern field size4 mm x 4 mm交期3-4 weeks

NIL微图形标准模板 (MICRO)

微图形标准模板有4种图形,包括直线、横线、柱状和孔状，其尺寸为1um, 5um, 10um, 50um呈现在20mm x 20mm硅晶圆片上。

规格：模板型号SMSS_SIQZ_V1模板尺寸20 mm x 20 mm材质Silicon or Fused Silica厚度1 mm结构尺寸500 nm - 2 µmEtch depth1 µm or 2 µm in Silicon. 500 nm in Fused SilicaPattern field size5 mm x 5 mm交期3-4 weeks

微透镜阵列模板

NILT提供带凹面或凸面微透镜阵列的纳米压印模板，用于通过热压印或注塑成型生产聚合物微透镜阵列。

材质一般采用熔融石英或镍制成。

NILT可以独立的控制镜头深度、高度和宽度，因此可以在压印模板上制作任何抛物面镜片形状。

压印模板的直径可达150mm，镜头尺寸从300nm-400μm，还可以提供具有凸透镜和凹透镜阵列的聚合物材质复制品。微透镜阵列压印模板压印模板尺寸可达150 mm压印模板材质熔融石英或镍微透镜尺寸300 nm - 400 µmSAG可达 50 µmLens arrangementsHexagonal closed packedSquare and hexagonal, not closed packedLenticular