真空中频多晶硅定向铸锭炉(图)

真空中频多晶硅定向铸锭炉炉型：立式型号：ZG-90D一、技术参数1、 额定功率： 250 Kw2、 额定温度： 1600 ℃3、 坩埚容量： 90 Kg（多晶硅2.3）4、 冷态极限真空度： 6.7*10-2 Pa5、 压升率： ＜4 Pa/h6、 石墨加热区尺寸： Ф450×700（㎜）7、 结晶定向凝固速度： 5-25 ㎜/h8、 电源： 三相、380V9、 坩埚尺寸（外）： Ф400×350（㎜）二、供货范围：1、 炉体 壹台2、 炉架 壹台3、 操作平台 壹台4、 H-150/S滑阀泵 壹台5、 ZJP-600罗茨泵 壹台6、 K-600扩散泵 壹台7、 中频电源（KGPS） 壹台8、 电拉屏箱 壹台9、 移动升降机构（含变频电机、直流电机） 壹台10、 感应线圈 壹台11、 定向结晶器 壹台12、 复合真空计（成都南光） 壹件13、 石墨发热体 壹件14、 Ф600气动挡板阀 壹台15、Ф160气动挡板阀 贰台16、 充气系统（CKD电磁阀、调节针阀、流量计等)壹套 裴富根 2007-7-7