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小型ECR 微波等离子体MBE

2023年12月13日 19:28

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/HMPR-202

技术特点 HMPR-202小型ECR反应器专为分子束外延应用（MBE）而设计。它具有高稳定、高密度、低损耗、低温及低压操作等特点。可广泛用于贵重材料包括GaN，SiC等的表面沉积。UHV结构，易于安装到现有的MBE系统上。稳定可靠的真空腔。低气压、高密度及低能量的离子源。技术参数工作频率： 2450±50MHz输入功率： 0~200 W 接口类型： L16 N, 50Ω材料：不锈钢, UHV结构外形尺寸： φ50 x 270L带φ86一体法兰冷却水： ≥3L/min气体接口： Y4in, VCR装置

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