光伏碳纳米薄膜激光刻蚀，太阳能薄膜激光刻蚀，小线宽10μm

适用于银浆、ITO、FTO、CNT碳纳米管、石墨烯、纳米银、高分子导电膜、铜薄膜、铝薄膜、钼铝钼薄膜等

设备特点

1、激光蚀刻为干式蚀刻，加工制程简单，所有加工均由软件自动控制，产品一致性高，良率高达99%。

2、最小蚀刻线宽20μｍ，支持银浆线路和ITO一次性同时蚀刻，轻松实现单层多点电容屏sensor线路蚀刻。

3、CCD视觉自动寻靶，一次性可加工650mm×550mm范围，拼接精度≤±3μｍ。

4、支持多种视觉定位特征，500万像素单点抓靶时间小于１秒钟，克服了印刷变形过大导致激光蚀刻偏位的问题，定位精度≤±3μｍ。

5、激光蚀刻机5万小时无耗材，免维修，使用成本低，替代黄光制程。

应用行业

1.电阻式、电容式触摸屏银浆线路蚀刻、修复；

2.ITO及各类金属导电膜线路激光蚀刻；

3.PCB行业薄膜电路光刻掩膜板激光蚀刻成型；

4.太阳能光伏硅基板薄膜电路蚀刻。

技术参数激光器光纤激光器紫外激光器激光波长1064nm532nm激光功率10/20W10W聚焦光斑≤0.02mm激光频率调节范围20K-100KHz刻蚀线宽20μm刻蚀速度4000mm/s（视材料、参数而定）加工范围500mmX500mm（可根据客户要求定制）单次幅面140mmX140mm (可选配)功率消耗<2KWCCD自动定位精度±2μm直线电机工作台定位精度±2μm直线电机工作台重复精度±1um设备尺寸1650mmL×1300mmW×1670mmH设备重量2000kg可处理文件格式标准Gerber文件，DXF文件，PLT文件等