布鲁克电致发光测量系统Bruker LumiMap

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型号

LumiMap

用途

外延片谱学和电学测试功能，并提供即时数据，而无需任何晶片的前期处理和样品制备

布鲁克LumiMap是电致发光测量系统，在一个简单直观的测试环境集成了所有的EPI谱学和电学测试功能，并提供即时数据，而无需任何晶片的前期处理和样品制备。LumiMap系统利用无损接触式探针，允许控制电流流过晶片，激发EPI的有源层，使其发光，快速准确的收集正像电压、反向电流、发光强度和波长等数据。这种无损测试方法省去了铟点，酸清洗，处理晶片流程，快速精确的收集2-6寸晶片的反向IV特性、光谱强度、波长、Vf等谱aa学和电学性能指标。

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