北京泰科诺科技有限公司
主营产品:
2023年10月24日 18:35
本系统为双室立式圆柱形结构的双靶位磁控溅射镀膜设备;
主要由溅射室、进出样室、磁控溅射靶、溅射电源、样品运动机构及传递系统、样品加热系统、样品清洗系统、真空获得系统、
真空测量系统、气路系统、工控机控制和报警系统等组成。
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