莆田安泰科光电技术有限公司
主营产品:
2023年09月06日 13:57
用途 |
GaN衬底 |
特性 |
A向 |
A向蓝宝石衬底
材料:99.996%蓝宝石,单晶
晶向:A向[11-20]+/-0.1度
直径:50.8+/-0.1mm
厚度:0.43+/-0.01mm
主参考边: C面[0001]+/-0.2度
主参考边尺寸:16.0+/-1.0mm
正面:EPI抛光, Ra<0.2nm
背面:细磨,Ra=0.8-1.2um
TTV:</=10um
LTV:</=5um
TIR:</=10um
BOW:-10-0um
Warp:</=10um
包装:100级洁净室抽真空双层包装,每盒25片装或单片装。
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