供应中频交流磁控溅射电源真空电源镀膜电源磁控溅射电源

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型号	SSDH	输入电压	AC380V（V）
输出电压	空载1000V（V）	输出电流	0（A）
输出功率	2-20KW（W）	频率范围	100、125、150、175、200KHZ（HZ）
产品认证	ISO9001	物料编号	0
适用范围	表面处理	电源名称	中频交流磁控溅射电源
特色服务	价格优惠	输出特性	恒流、恒功率、恒压
输出方式	交流正弦波

SSDH副本

SSDH

复件标先白背景

SSDH系列中频交流磁控溅射电源技术规格 SSDH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。电源输出频率可制定为100、125、150、175、200KHZ，或200、250、350、400 KHZ，用于化合物膜的沉积及相关工艺开发电源功率范围2-20KW输入电源AC380V三相四线制50-60HZ±10％输出方式交流正弦波输出频率100、125、150、175、200KHZ，或200、250、350、400 KHZ输出电压空载1000V[有效值]输出特性恒流、恒功率、恒压灭弧时间≤1uS输出稳定率0.25％冷却方式风冷使用环境环境温度 0-40℃

环境湿度相对湿度≤85％

空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好通讯方式模拟/RS485/RS232说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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