扩散硅压力传感器，压力芯体，传感器

～HTXX系列恒流供电隔离膜硅压阻式压力传感器芯体的核心是一个扩散硅压敏元件，被测介质压力(或压差）通过隔离膜片硅油传递到硅桥片，利用扩散硅的压阻效应原理，实现测量液体、气体压力大小的目的。该传感器采用ISO技术封装，具有很高的可靠性、重复性和稳定性。

一、技术参数

输入激励：1.5mA

输入阻抗：3kΩ～6kΩ

输出阻抗：2.5kΩ～6kΩ

绝缘电阻：≥100MΩ/50VDC

被测介质兼容性：与316L不锈钢兼容的气体和液体

响应时间：≤1ms(10%～90%)

二、性能参数参数量程典型值值单位非线性0～7kpa～3.5MPa±0.15±0.3%F.S3.5Mpa～60Mpa±0.2±0.3%F.S重复性/迟滞0.020.05%F.S零位输出0±10±2mVDC满量程输出100±10

50±10(<10Kpa)100±30

50±30(<10Kpa)mVDC零位温度误差±0.5

±2.5(<10Kpa)

±5(<10Kpa)

±1(10Kpa～3.5Mpa)

±0.8(3.5Mpa～60Mpa)%F.S满量程温度误差

±0.5

±2.5(<10Kpa)

±1(10Kpa～3.5Mpa)

±0.8(3.5Mpa～60Mpa)%F.S过载压力3倍满量程或100Mpa(取两者较小压力值)温度补偿范围0～70℃工作温度范围-20～80℃贮存温度范围-40～125℃

以上参数测试条件：供电1.5mADC，室温25℃