SMPA015A绝压压力传感器芯片 晶圆

SMPA015A型压阻式压力传感器在6寸MEMS产线上生产，其敏感结构由一个弹性膜及集成在膜上的四个扩散硅压敏电阻组成，四个电阻形成惠斯通电桥结构，当有压力作用在弹性膜上时，电桥会产生一个与所加压力成线性比例关系的电压输出信号。

通过计算、仿真及反复实验对芯片尺寸及电阻的位置进行了优化设计，尺寸极小（0.65mm×0.65mm×0.6mm）。具有优良的线性和稳定性，零点和满量程温漂小，优异的抗干扰能力和抗静电能力，过载能力强，灵敏度高等特点，方便用户采用运放或集成电路进行调理和应用。

该传感器主要适用于大批量，价格敏感的应用。比如消费类胎压传感器等。SMPA系列产品量程包括：15,30,60,150 PSI。

晶圆出货时百分之百进行目检及电性能测试。

该产品出货必须有最小起定量。

亮点

高性能绝对压力传感器芯片超小尺寸可定制包装特别适合特定应用的传感器线路

典型应用

汽车轮胎压力监测系统（TPMS）大气压力测试气压计气象站硬盘驱动器（HDD）

特征

高稳定性恒流驱动/恒压驱动可选高输出电压高性价比

SMPA015A极限测试参数

有参数在室温25℃，5V直流恒压源供电的条件下测量而得，除非另外规定。序号参数最小值典型值值单位1恒压供电（a）-57.5V2恒流供电（a）-11.5mA3耐压（b）3×--Rated FS4爆破压力（b）5×--Rated FS5工作温度（b）-40-+85℃6储存温度（b）-40-+125℃注：

（a）只要Vsub没有连接，桥可能用正的或负的电压激励

（b）测试：样品

SMPA015A基本参数

有参数在室温25℃，5V直流恒压源供电的条件下测量而得，除非另外规定。

测试设备包括但不限于：真空变温探针台、agilent 34401A、agilent E3632A、Agilent B1500A序号参数缩写最小值典型值值单位7满量程输出（101.3kPa）（b）Vspan90115150mV8零点输出Voffset-30 +30mV9灵敏度温度系数(b、c)TCS-30-20-10%FS/100℃10零点温度系数(b、c)TCZ-7-1+7%FS/100℃11电阻温度系数(b、c)TCR+24+29+33%RB/100℃12非线性(b、d)NL-0.4+0.05+0.4%FS13桥臂电阻Rb456kΩ注：

（a）只要Vsub没有连接，桥可能用正的或负的电压激励

（b）测试：样品

（c）通过在25℃、45℃和80℃下进行的测量确定。

（d）直线

外形尺寸图：

电气连接：

引脚定义引脚名称定义值Vsub电源正+5V+Vexc电源正+5V+Sig输出正--Vexc电源负0V-Sig输出负-Pad大小100μm*100μm

Pad中心坐标为：（单位：μm）

+Sig （-221.5，221.5）

-Vexc （-221.5，-221.5）

-Sig （221.5，-221.5）

+Vexc （221.5，107.5）

Vsub （98，221.5）

采购信息

型号满量程气压范围压力类型最小订单数量SMPA015A101.3KPa绝压2片

（≈20000颗/片）