深圳市众诚达应用材料科技有限公司
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2023年09月02日 10:02
深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售磁控溅射用的靶材,搭载在镀膜设备使用。在整个镀膜生产中,设备的稳定性是一个很重要的控制点,其稳定的镀膜状态是获得优良膜层的必要和关键因素。
通常我们把真空镀膜设备划分为以下几个系统:真空获得系统、传动系统、加热和冷却系统、检测系统、镀膜系统以及控制面板。
日本的科学家采用 B i zo 作为 添加剂,B i 2 O3 在 8 2 0 C r 熔化,在 l 5 0 0℃的烧结温度超出部分已经挥发,这样能够在液相烧结条件下得到比较纯的 I T O靶材。而且所需要的氧化物原料也 不一定是纳米颗粒,这样可以简化前期的工序。采川
这样的靶材得到的 I T O 薄膜的屯阻率达到 8 . 1 ×1 0 n- c m,接近纯的 I T O薄膜 的电阻率。F P D和导电玻璃的尺寸都相当火,导电玻璃的宽 度甚至可以达到 3 1 3 3 _ ,为了提高靶材的利用率,开发 了不同形状的I T O靶材,如圆柱形等。2 0 0
0年,国家 发展计划委员会、科学技术部在《 当前优先发展的信 息产业重点领域指南》中, I T O大型靶材也列入其中。深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售的靶材应用于平板显示与触控行业。
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