东莞市正凯机电设备有限公司
主营产品:仓储设备
2024年01月05日 12:46
产品特性 |
曝光机 |
订货号 |
M552 |
型号 |
ZKUE-M552 |
货号 |
ZKUE-M552 |
产品别名 |
平行光曝光机 |
用途 |
用于FILM黄光制程而设计制作的专用设备 |
适用行业 |
FILM黄光制程 |
产品用途 |
用于FILM黄光制程而设计制作的专用设备 |
规格 |
台 |
一、设备概述
平行光源单面双工位曝光机专门用于FILM黄光制程而设计制作的专用设备,
系统采用进口平行光源、双工位抽屉进出曝光平台交替工作进行FILM湿膜、干
膜曝光。双工位平台真空吸附将FILM与MASK贴紧,曝光解析度20UM。
二、设备规格以及主要技术指标
◆产品规格:有效曝光面积400MMx500MM
◆曝光平台面积:500MMx600MM
◆电源: AC380V 3f 50HZ 7KVA
◆机台外尺寸: W1350MMxL3250MMxH2350MM
◆曝光方式:单面曝光玻璃VS玻璃x2组,采用电磁锁控制
◆光学系统:采用进口曲面MIRROR反射光学系统
◆冷却系统:灯管:外部冰水冷却内循环水.
台面:强制气冷式
◆曝光控制器:智慧型人机界面及曝光能量控制(能量模式及时间模式)
◆真空系统:400MMHG以上
◆灯源:UV能量积分器进行曝光能量设置和控制主动风冷式降温保护
(有紧急停止保护)
◆空压系统:4-7KF/CM2,中12MM, 200L /MIN
◆平行半角:DA
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