磁控溅射镀膜机南光K-300扩散泵改FF-250/2000分子泵项目

客户现有600磁控溅射镀膜镀膜机一套，使用8年，考虑到原来使用的南光K-300扩散泵已经老旧且能耗较高，需要将其替换，并要求我司提供替换方案并提供安装调试。

客户现有主抽泵南光K-300技术参数如下：

我司建议客户使用FF-250/2000的分子泵进行替换，并保留原有的前级泵，FF-250/2000的技术参数如下：

上述替换方案优点如下：

1.分子泵启动时间短，无需扩散泵的预热时间，并且大大缩短了停泵时间和简化了停泵步骤

2.分子泵更为节能峰值能耗仅有0.75KW，扩散泵能耗为2.1KW。按照每天8小时工作时间一个月22天工作天计算，月均节电29.7KW

3.分子泵的冷却水量为60L/H，大大低于扩散泵400L/H的用量

4.分子泵体积小，总体积只有原来的1/3

5.抽空时间基本维持原有设备状况

设备改造前情况：

改造后设备情况：