中科科仪KYKY FF-160/620C复合分子泵及配套电源

产品描述：型号FF-160/620C抽速速率（L/S）600进气口法兰DN160 LF

DN160 CF排气口法兰KF40 (DN)压缩比N2：109H2：6×104极限压强（Pa）≤6×10-7(DN160 LF)≤6×10-8(DN160 CF)建议启动压强（Pa）＜100额定转速（rpm）36000启动时间（min）＜6轴承精密陶瓷轴承振动值（μm）≤0.1建议前级泵（L/S）4—8充油量（ml）150水嘴内径φ10直插自密封冷却方式水冷冷却水流量（L/min）1冷却水压力（mpa）0.15冷却水温度（℃）≤25泵体烘烤温度（℃）≤100环境温度（℃）5—40润滑方式油润滑安装方向竖直± 5°重量（kg）29