镀膜靶材/溅射厂家/厂家直销各种规格靶材

宝鸡市弘鼎金属材料有限公司

宝鸡市弘鼎金属材料有限公司位于宝鸡市宝钛路温泉工业园，是主要以钛材、镍材、锆材等有色金属材料的生产、加工、销售为一体的综合性企业。

公司主要产品：钛、镍、钨、钼、锆，及其合金板、管、棒、丝、靶材、箔材等。加工各种钛及钛合金管件、钛法兰、镍法兰、钛镍标准件、钛网篮、钛挂具,各种规格的钨坩埚、鉬坩埚、钼舟、镍舟、钛珠、镍珠，混合干燥机、储罐、反应釜、防腐泵阀、换热器等产品。公司坚持“诚信为本、信誉、质量、服务”的企业宗旨，以科技为先导，努力拼搏，开拓市场。以优异的质量，快捷的服务，良好的信誉，真诚与新老客户携手共同发展！

宝鸡市弘鼎金属材料有限公司

表面工程用靶材（装饰工具）多弧靶 品 名 纯度 密度 镀膜优势色 形状 常规尺寸 应用行业 钛铝（TiAl）合金靶 2N8-4N 3.6-4.2 玫瑰金/咖啡色 圆柱形 直 径

60/65/95/100*30/32/40/45mm 装

饰

/

工

具 纯铬（Cr）靶 2N7-4N 7.19 白色/黑色 圆柱形 纯钛（Ti）靶） 2N8-4N 4.51 金黄色/枪黑色

蓝色/玫瑰红 圆柱形 纯锆（Zr）靶 2N5-4N 6.5 金色 圆柱形 纯铝（Al））靶 4N-5N 2.7 银色 圆柱形 纯镍（Ni）靶 3N-4N 8.9 金属本色 圆柱形 镍钒（Ni）靶 3N 8.57 蓝绿色 圆柱形 纯铌（Nb）靶 3N 8.57 白色 圆柱形 纯钽（Ta）靶 3N5 16.4 黑色/紫色 圆柱形 纯钼（Mo）靶 3N5 10.2 黑色 圆柱形 靶材的主要性能要求

靶材的主要性能要求:

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。