激光干涉仪

ZLM800双频激光干涉仪是德国Jenaer公司生产的新一代激光干涉仪。通过把性能稳定的氦氖气体激光与电子电路相结合，而制造出新型的干涉仪测量系统。

配备的可编程ASIC装置，可根据用户的要求，提供个性化测量系统方案。

ZLM800激光干涉仪广泛应用于单一校准系统、多轴定位系统及快速动力学控制系统。它可以测算出机械设备的动力学行为，通过WINDOWS软件，按用户设定的工作方式对其进行分析。

ZLM800激光干涉仪配有一个模块化系统超级蔡司光学镜头，为用户使用激光干涉仪进行测量提供了完美的解决方案： 位置 距离 速度 加速度 角度 振动 直度 垂直度 平坦度 整齐度

工作模式

型ZLM800激光干涉仪使用氦氖气体激光，在双频外差中工作。

激光热稳定性为0.002 ppm，两种模式下640MHz击打频率相当于信号处理能力的四倍。这种高频处理信号可以对运动速度非常块的物体进行测量而无干扰误差，信号延时非常短。

通过光纤电缆来传输干涉仪光学镜头到PC插槽上电子计数器电路信号，可防止外部电磁环境的干扰。因此ZLM800特别适用于恶劣的生产环境、标准测量环境及高真空环境。

作为PC插槽的替代品，可使用独立的数据处理电子单元。它带有多个接口，用于数据输出、连接闭环控制回路。该型号的干涉仪可以扩展为五轴测量。

产品特点 被测物体速度16m/s 无干扰误差时的分辨率2.5nm(带平面镜干涉仪时为1.25nm) 无加速度限制 即使非常低的光线水平，探测信号也十分稳定 信号延时