进口 PVA-TePla 等离子体清洗机 （电浆清洗/等离子清洗）

进口PVA TePla 射频等离子体清洗机

—— PVA TePla 跨国型企业，40年等离子体设备经验

PVA TePla 射频等离子体清洗机

规格： 铝质腔体 容积：36.5L 射频电源：13.56MHz风冷射频电源（0-600W可调）脉冲可调功能 电极：平行/垂直/水冷温控/料盒/笼式 工艺气体：标配2路工艺气体 工艺气体控制：防腐蚀不锈钢MFC 其他气路：1路回填气路，1路驱动气路 外形尺寸：775×723×781 mm 选配： 射频电源功率：0～300W或0～1000W 工艺气体：多至6路 可选配液态单体操作装置 可选压力控制装置 可选温控装置 可选不锈钢腔体

典型应用： 去除光刻胶photo-resist stripping

表面精密清洁surface precision cleaning

表面活化 surface modification

提高表面粘合性 bond strength enhancements

改变表面亲水性/疏水性 hydrophilic/hydrophobic

分子接枝 molecular grafting

涂层 plasma deposited coatings

认证： CE 认证

EN 61010

EN 61326

Semi E95 CISPR 55011

ISO 9001

NFPA79

NFPA70