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'快速退火炉 (RTP)

腔体：暖壁双层腔体，外层水冷金属腔体，内层为高纯度石英腔体。

承载盘：石磨载盘。

加热系统：上下红外线卤素灯管同步辐射加热。

工作温度：200~1000℃。

温度准确性：±2℃。

温度再现性：±2℃。

温度均匀性：500℃以下±5℃。500℃以上±1%。

升温速率：基板于石磨载盘内，Max 20℃/sec。

可抽真空，可通制程气体（氧、氮、氩等）。

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昆山赢天下自动化科技有限公司主营产品：
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